選擇用于電暈放電臭氧發(fā)生器的原料氣體會對設(shè)備的使用壽命產(chǎn)生很大影響。如果在沒有干燥器的情況下使用空氣作為原料氣，則會在臭氧發(fā)生器中形成硝酸。硝酸是一種非常強的酸，可以快速腐蝕設(shè)備。與臭氧一起使用的設(shè)備的設(shè)計并不能確保該設(shè)備也能抵抗硝酸的腐蝕。如果使用未干燥的空氣作為原料氣，連接到電暈放電臭氧發(fā)生器出口的任何部件或氣體處理設(shè)備都可能損壞。此外，硝酸會與空氣原料氣中的污染物發(fā)生反應(yīng)，并在發(fā)生器下游的管道和設(shè)備中產(chǎn)生化學(xué)殘留物。

　　避免在電暈放電發(fā)生器中產(chǎn)生硝酸和防止設(shè)備中殘留污染的理想方法是使用干氧作為原料氣以防止在設(shè)備中產(chǎn)生污染。

　　在原料氣進入臭氧發(fā)生器之前，空氣干燥器應(yīng)該對空氣進行干燥。環(huán)境空氣中含有水分，會與臭氧發(fā)生反應(yīng)。這會導(dǎo)致每千瓦時的臭氧產(chǎn)量降低。高濕度的另一個問題是會發(fā)生不希望的反應(yīng)在電暈裝置中。當(dāng)存在更多的水蒸氣時，發(fā)生火花放電時會形成大量的氮氧化物。氮氧化物會形成硝酸，從而導(dǎo)致腐蝕。

　　空氣制備系統(tǒng)降低了原料氣的露點。潮濕的原料氣（空氣）會導(dǎo)致發(fā)生器內(nèi)部形成硝酸，從而減少臭氧的產(chǎn)生，如果不去除，會導(dǎo)致發(fā)生器內(nèi)部部件腐蝕并失效。